精品无码国产av一区二区三区_亚洲国产中文日韩欧美在线_热在精品视频在线观看视频_99国产视频分享的内容是很丰富的_亚洲国产精彩中文av_亚洲女同精品一区二区视频_久草这里只有在线_免费无码十八禁污污网站_影音先锋熟女少妇av资源_久久精品免费无码无

聯(lián)系我們
首頁> 產(chǎn)品 > 紅外氣體傳感器 > 紅外氣體傳感器SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2
大001.png

紅外氣體傳感器SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2

紅外氣體傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品詢問

產(chǎn)品特性

技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)原理 NDIR
檢測(cè)氣體 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性 ±0.5%
線性 ±1%F.S.
檢測(cè)限 1ppm
以上功能和規(guī)格請(qǐng)以正式產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書為準(zhǔn)。如需獲取更多技術(shù)信息，請(qǐng)聯(lián)系：027-81628813
請(qǐng)聯(lián)系我們，獲取更多產(chǎn)品信息
發(fā)送